Компания Lam Research – ведущий поставщик оборудования для производства полупроводников. Она как раз сообщила о новом методе повышения доли выхода годных кристаллов. При производстве современных чипов количество ступеней обработки и экспонирования подложек продолжает увеличиваться, иногда кристаллы стыкуются друг с другом, поэтому все более важной становится тема защиты подложек.
Важным фактором загрязнения во время производства являются края подложек. Чем больше ступеней обработки проходит подложка, тем больше вероятность, что частицы с краев попадут на рабочую область подложки и приведут к загрязнению. Поэтому края подложки теперь обрабатываются, такой шаг уменьшает количество свободных частиц. Lam Research как раз представила покрытие Coronus DX, которое будет защищать подложки.
Загрязнения и неоднородности – серьезная проблема производства современных чипов. Мы узнали об этом во время посещения Intel Fab 28 в Израиле. Число ступеней обработки подложек значительно увеличилось, в ряде случаев экспонированная подложка больше не разрезается на отдельные чипы, а стыкуется с другой подложкой в многослойных корпусировках или с использованием технологий, таких как PowerVia. Все эти этапы потенциально увеличивают шансы появления загрязнений.
Lam Research говорит о дополнительном увеличении доли выхода годных чипов на 0,2-0,5% на каждую ступень экспонирования, что может дать улучшение до 5% для всего производства. При производстве нескольких тысяч или даже сотен тысяч подложек в месяцы, улучшение даже на десятые процента будет очень заметным.
Lam Research начала разработку защитного покрытия еще в 2007 году. Важным стимулом к ускоренному поиску решения стали техпроцессы погружного экспонирования чипов памяти 3D NAND.
В Lam Research сегодня работает около 18.700 сотрудников, годовые продажи составляют $19 млрд. Так что компания – отнюдь не маленький игрок рынка, она выпускает оборудование для многих производителей полупроводников. Своих клиентов Lam Research не раскрывает, но наверняка в их число входят все крупнейшие производители полупроводников.
Подписывайтесь на группу Hardwareluxx ВКонтакте и на наш канал в Telegram (@hardwareluxxrussia).